微环境的送风是由无尘车间送风系统提供,其缺点是不灵活,移动或增加工艺设备不方便。目前8”、12”IC生产线所用的微环境基本上是图5的形式(光刻机除外),微环境全部由工艺设备自带,与工艺设备紧密结合在一起,并且与装载台、前开口传递盒(front opening unified pods.FOUP)、吊挂传输系统(ovcerhead hoist transport,OHT)有机结合。微环境系统的风机直接吸室内的空气,经ULP过滤器处理后垂直下吹,厂房净化车间,以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。
连锁控制:当送风机启动时按控制规律调节新风阀开度、预热蒸汽调节阀开度、再热蒸汽阀开度、加湿器蒸汽调节阀开度;当送风机停止时关闭所有控制阀门。
◆ 新风阀调节:检测新风温湿度和回风温湿度,分别计算出空气的焓值,冬季当新风焓值I 新< 回风焓值I回,济南厂房净化,由于处理新风所消耗的能量大于处理相同量的回风所消耗的能量,所以应采用至小新风量以便有效节约能源,故新风阀开度为允许的至小开度。
◆ 温度控制:由于室外温度较低(低于5℃),预热盘管处于工作状态,根据预热温度检测值和设定值按PID 控制规律调节预热加热器蒸汽调节阀开度,使预热温度稳定在设定值。新风经过预热后与回风混合。根据回风温度检测值和设定值按PID 控制规律调节二次加热器蒸汽调节阀开度,使回风温度稳定在设定值。