洁净度测试仪：
a．尘埃粒子的检测仪表：目前洁净室洁净度的检测主要用光散射尘埃粒子计数器，它又分为白炽灯光尘埃粒子计数器和激光尘埃粒子计数器。
它的原理是利用空气中的微粒对光线的散射现象，将采样空气中的微粒的光脉冲信号转换为相应的电脉冲信号来测定微粒的颗粒数，利用微粒的光散射强度与微粒粒径的平方成正比的关系来测量微粒粒径的大小。
b．生物粒子的检测仪表：目前生物粒子的检测方法主要有采用培养基法和滤膜法，所用的仪器分浮游菌采样器和沉降菌采样器。
浮游菌采样器主要有：固体撞击式采样器、离心式空气微生物采样器、气旋式微生物采样器、液体冲击式微生物采样器、过滤式微生物采样器和大容量静电沉降采样器等。
沉降菌采样器主要有：高压消毒锅、恒温培养箱和培养皿等。
优点：过滤效果，过滤，过滤器的过滤效率一般可达99.9%以上。
缺点：（1）当空气污染较为严重时，HEPA滤网的使用寿命会缩短，需要定期更换，增加了使用成本和维护精力；（2）普通HEPA滤网无抗作用，容易成为有害物质和有害物质滋生的温床，造成二次污染；（3）过滤阻力大，在空气净化器中使用时，需要配备高压风机，噪音较大。
2、静电过滤
利用尘粒荷电和强电场力作用原理收集颗粒物，是一种成熟的除尘过滤技术。利用电晕放电使得颗粒物携带电荷，然后借助电场力作用将带电粒子捕集在收尘极板上。
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