严格控制材料设备质量
洁净室材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。对装饰材料应严格按国家有关工程技术标准、施工质量验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料，不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。空调保温材料也必须符合国家有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。
通过两个措施改善混风段串风问题，一是移动G4初效过滤器至回风接口的前面，利用G4过滤器阻止串风；二是在新风接口处增加电动密闭风阀，并与送风机连锁，当送风机停止时，会连锁新风电动密闭风阀关闭。
（2）把冷却盘管移动到送风机的后面，这样冷却盘管将处于正压段，避免了凝水盘常态积水，阻止了有害物质的滋生。同时也阻止了凝结水进入电机的接线端子盒，从而避免电机受潮而短路。
（3）取消了冷却盘管后面的挡水板，通过降低空调机组的截面风速至2.5 m/s以下，实践证明2.5 m/s以下的流速能有效地降低气流带水的问题。同时，由于没有挡水板，消除了有害物质滋生的环境。
（4）排水管水封变成正压气封。由于把凝水盘置于正压下，具备了正压气封的设计条件。
（5）加湿器置于过滤器的后面。因为，加湿器的效率不可能，会受到空气温度、湿度、水蒸气的分压力的影响。所以，总会有加湿蒸汽没有被气流带走而附着在过滤器的表面，从而造成过滤器受潮以后霉变。
优点：过滤效果，过滤，过滤器的过滤效率一般可达99.9%以上。
缺点：（1）当空气污染较为严重时，HEPA滤网的使用寿命会缩短，需要定期更换，增加了使用成本和维护精力；（2）普通HEPA滤网无抗作用，容易成为有害物质和有害物质滋生的温床，造成二次污染；（3）过滤阻力大，在空气净化器中使用时，需要配备高压风机，噪音较大。
2、静电过滤
利用尘粒荷电和强电场力作用原理收集颗粒物，是一种成熟的除尘过滤技术。利用电晕放电使得颗粒物携带电荷，然后借助电场力作用将带电粒子捕集在收尘极板上。
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